1、平均自由程:作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。 　
　　2、流量:单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。 　　　
　　3、流导:表示真空泵管道通过气体的能力。单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作“U”，U＝Q/(P2- P1) 。 　　
　　4、压力或压强:气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。 　　
　　5、标准大气压:真空泵压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。 　　
　　6、极限真空:真空泵容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空泵容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。
　　7、抽气速率:在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速，Sp＝Q/（P－P0）。
　　8、冷阱（水冷挡板）:置于真空泵容器和泵之间，用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置。